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Kinco手持式触摸屏在单晶炉应用

2022-12-30   访问人数:3817


一、行业背景


单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。硅料经加工得到高纯度多晶硅,将多晶硅置入单晶炉中,可生长得到单晶硅。单晶炉制备单晶硅是半导体工艺的第一道工序,得到的单晶硅用来制造硅片,因此单晶炉在半导体产业中具有重要作用。

 

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单晶硅可采用区熔法、直拉法进行制备,直拉法可生长高纯度单晶硅,可应用在半导体产业中,是主流制备工艺。全球半导体产业不断发展壮大,单晶炉市场需求随之不断增长,2021年,市场规模约为128亿元。我国半导体产业发展极为迅速,晶圆厂建设兴起,生产线不断增多,拉动市场对高纯度单晶硅需求快速上升。在此背景下,我国单晶炉行业迎来发展机遇。

 

二、工艺介绍

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如上图所示,单晶炉有着较为复杂的一套操作工艺流程,对坩埚提升旋转与定位,炉体主副室升降与旋开,热屏的升降等各种操作都需要在触摸屏上完成,同时单晶炉设备较高,操作人员需爬高一边观察设备情况一边操作触摸屏画面,对此,一个可移动的操作手柄显得至关重要。


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另外在移动操作过程中,单晶硅都极其昂贵,在各工序操作中如有异常需要具有紧急停止功能,避免更大经济损失,所有的操作日志等都需要记录下来形成历史报表好供事后追溯。

同时单晶炉设备因为控制较为复杂,工序繁多,常使用大中型品牌PLC,西门子,倍福等,所以对于触摸屏还需支持大中型PLC的标签通讯让工程制作起来更加方便快捷。

 

三、步科解决方案

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1.基本规格:7"TFT800×480像素,1677万真彩色;

2.标准配置:10个可编程功能键,1个三选择开关、1个急停开关适用于安全性要求较高的场合;

3.实用设计:兼备按键和触控,应用场合更广,选择更灵活;

4.使用耐久:移动操作手持终端标配5米电缆(1015米可选),线缆可选柔性弹簧线,寿命长;

5.简单安装:支持VESA标准(75×75mm孔距)支架、挂架安装,方便操作工携带。

 

四、方案特点


1.手持屏产品设计,触摸屏设备可自由移动,方便调试;

2.自带急停开关,确保安全可靠;

3.触摸屏面板配置多个可编程按键,灵活应用,操作更加便利 ;

4.支持西门子,倍福等大中型PLC标签通讯协议,组态开发效率更加高效;

5.支持操作日志记录,数据采样,生成报表曲线,支持导出数据表格文件。



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